公告日期：2016年6月24日

公告编号：SX2016124

公示单位：燕山大学资产管理处

地址：河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号

邮编：066004    

电话：0335-8056492

联系人邮箱：houmingyu@ysu.edu.cn

联系人：侯老师

燕山大学将于近期采购“石墨烯CVD系统”一套，相关信息如下，具体采购方式及采购时间另行安排，即日起欢迎具备供应商资格要求的单位与我校资产管理处项目联系人取得联系。报名参加的供应商请在资产处网站http://sbc.ysu.edu.cn/info/1120/2721.htm下载并填写《供应商投标报名登记表》，并将《供应商投标报名登记表》电子版，营业执照、组织机构代码证、税务登记证、法定代表人身份证或委托授权人身份证及授权书、公司简介等相关资质文件的扫描件发送至项目联系人邮箱。

一、采购货物或服务的名称：“石墨烯CVD系统”一套

二、技术参数要求

1、*炉体部分：采用管式炉结构，选购科晶（MTI）OTF-1200X系列双温区管式炉。高温炉为双温区加热控温，可加热到1200℃，稳定工作温度1100℃，温度均匀性1℃，恒温精度1℃，加热长度400mm，每个温区长度为200mm，加热炉盖可打开。内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料以提高反射率及炉膛洁净度。带滑轨，可实现快速降温。两个数字精密温度控制器，可设置30段升降温程序，每个温区可以进行独立控温，升降温速率可达20℃/min，具有超温及断偶报警功能。炉管为耐高温石英管，壁厚均匀，无气泡及裂痕，炉管直径为50mm，长度1000mm，耐温至少1100℃。配有炉管内所需的管堵，石英坩埚等管式炉所需部件。

2、*混气系统：质量流量计采用七星华创MFC三路气体质量流量控制器，其中Ar、H2、CH4量程分别为500sccm、200sccm、100sccm，测量精度<设定点1%；气体质量显示仪一套，七星华创，三路显示。气路连接部分需要包括截止阀（针阀）、三通接头、直通接头、弯头、1/4" 卡套、气管等所需连接零部件，混气罐一套，并选购三路气体所需的气体减压阀。

3、*真空部分：低真空系统一套，采用机械泵，真空度小于1Pa，要求系统气密性好，极限真空能够达到要求，而且真空维持和保压性能好，漏率小于1.3E-5Pa•L/S。配有所需的真空不锈钢法兰、防腐式数字真空计、高温“O”型圈、压紧环、手动挡板阀、KF-25快接、不锈钢抽真空波纹管、卡箍、两端炉管的支架，炉子底部装有一对滑轨，可手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。

注：以上加*的为重要技术指标，投标人有一项不满足或未完全响应的即为无效投标，但可以高于以上要求。

三、联系时间：2016年6月24日-2016年6月30日