公告日期：2016年5月11日

公告编号：SX2016062

公示单位：燕山大学资产管理处

地址：河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号

邮编：066004  

电话：0335-8043037

联系人邮箱：qwj@ysu.edu.cn

联系人：曲老师

燕山大学将于近期采购“双温区高真空CVD沉积系统”一套，相关信息如下，具体采购方式及采购时间另行安排，即日起欢迎具备供应商资格要求的单位与我校资产管理处项目联系人取得联系。报名参加的供应商请在资产处网站http://sbc.ysu.edu.cn/info/1120/2721.htm下载并填写《供应商投标报名登记表》，并将《供应商投标报名登记表》电子版，营业执照、组织机构代码证、税务登记证、法定代表人身份证或委托授权人身份证及授权书、公司简介等相关资质文件的扫描件发送至项目联系人邮箱。

一、采购货物或服务的名称：“双温区高真空CVD沉积系统”一套

二、技术参数要求

1、*双温区高真空供气处理系统在欧洲通过CE认证。

2、温区：  加热区长度600mm   恒温区长度200mm

3、双层风冷结构

4、保温材料    高纯度氧化铝纤维，真空吸附一次成型

8、*最高温度   1700℃

9、加热元件    硅钼棒

10、控温方式   智能化30段程序控制

11、*恒温精度  ±1℃ 

12、*最快升温速率  最快升温速度为10-20度

13、*德国高真空系统泵体积流量N2   33L/S

14、*压缩比    10:11

15、*最终压力  ≤3.0×10-5mbar

16、*功率消耗  240W

17、*启动时间  2min

18、*系统极限真空度    1.0×10-5Pa

19、*抽气速率：4L/S

20、*电极功率：400W

21、*极限压强：6×10-3Pa

22、*抽气速率：30L/S

23、*极限压强：6×10-6Pa

24、*启动时间：＜2min

25、*额定转速：4300转/分钟

26、*冷却方式：风冷/水冷

27、*加速时间：1min

28、输出频率：高速740HZ±10% ，低速430HZ±10%

29、电阻规阻值：约85Ω

30、自动保护（电离）：＞10Pa

31、KF40高真空手动隔断阀  采用氟胶圈密封，快卸法兰接口漏率达5×10-9Pa.m3/s

32、*连接管路  采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1×10-9Pa.m3/s

混气系统   量程范围:通道 1: 1~99 .9SCCM ，通道 2: 1~199 SCCM 通道 3: 1~499 SCCM

33、最大耐压: 3x106 Pa  

34、*重复精度: ±1% FS  

    35、机械压力表    量程范围:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)针阀    316不锈钢

  管道配件内部链接:   Φ1/4"不锈钢管外部链接：Φ1/4"聚四氟乙烯管

  静态混气室  Φ80X120mm  截止阀  Φ1/4”不锈钢卡套截止阀  

注：以上加*的为重要技术指标，投标人有一项不满足或未完全响应的即为无效投标，但可以高于以上要求。

三、联系时间：2016年5月11日-2016年5月17日