公告日期：2016年3月2日
公告编号：SX2016002
公示单位：燕山大学资产管理处
地址：河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号
邮编：066004
电话：15710939199
联系人邮箱：mafahui@ysu.edu.cn
联系人：马老师
燕山大学将于近期采购“离子溅射仪”，相关信息如下，具体采购方式及采购时间另行安排，即日起欢迎具备供应商资格要求的单位与我校资产管理处项目联系人取得联系。报名参加的供应商请在资产处网站http://zcc.ysu.edu.cn/info/1069/2717.htm下载并填写《供应商投标报名登记表》，并将《供应商投标报名登记表》电子版，营业执照、组织机构代码证、税务登记证、法定代表人身份证或委托授权人身份证及授权书、公司简介等相关资质文件的扫描件发送至项目联系人邮箱。
一、采购货物或服务的名称：离子溅射仪
适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜的桌上型镀膜系统，结构紧凑。
主要特性描述
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
国际知名品牌。
主要技术参数
溅射系统 |
样品室大小 |
直径120mm x 120mm高 |
靶材 |
Au靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd（选件）; 大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
样品台 |
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm |
溅射控制 |
微处理器控制，安全互锁 |
溅射电流 |
5~45mA可调 |
溅射头 |
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
计量表 |
真空：Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA |
厚度监控 (选件) |
使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度 |
控制方法 |
具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s） |
真空系统 |
真空泵 |
2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 |
3.0 m3/小时 ，真空度到0.1mb所需时间30秒 |
极限真空 |
5 x 10-3mba |
桌上系统 |
真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
二、联系时间：2016年3月2日-2016年3月8日
